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真空系統前級泵抽速選擇
真空系統前級泵抽速選擇
更新時間:2016-09-26 點擊次數:2168
前級泵
抽速選擇
排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的zui大氣體量排走,根據管路中,各截面流量恒等的原則有:
PnSg≥PgS 或
Sg≥Pgs/Pn
Sg-前級泵的有效抽速(l/s)
Pn-主泵臨界前級壓強(zui大排氣壓強)(l/s)
Pg-真空室zui高工作壓強(托)
S-主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)
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