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一、基礎(chǔ)定義
PSG5xx 系列(標(biāo)準(zhǔn)皮拉尼規(guī),粗 / 低真空)
PCG55x 系列(對流增強(qiáng)皮拉尼)
MPG500 復(fù)合規(guī)(皮拉尼 + 反磁控,大氣壓~超高真空)
輸入:100~240V AC 50/60Hz,功耗≤30VA
單通道,僅接 1 支真空規(guī)
4 位數(shù)字 LCD 顯示屏
單位可切換:mbar / Pa / Torr
模擬量 0~10.3V:可直連 PLC、記錄儀做壓力采集
1 路繼電器設(shè)定點
浮動轉(zhuǎn)換觸點,50VAC / 5A
設(shè)定范圍:1×10?3 ~ 500 mbar
回差≥測量值 10%,用于泵啟停、聯(lián)鎖保護(hù)
規(guī)管接口:9 針 D-Sub 公頭
整機(jī)支持面板嵌入式、臺式、19 英寸機(jī)架安裝
自動識別接入的真空規(guī)型號,斷線 / 燈絲故障報警
單路壓力數(shù)值實時顯示,一鍵切換單位
可自定義壓力閾值,繼電器輸出做設(shè)備聯(lián)鎖
0-10V 模擬信號上傳工控系統(tǒng),適配濺射鍍膜產(chǎn)線自動化
CE、UL 認(rèn)證,工業(yè) 24 小時連續(xù)運行
磁控濺射機(jī)前級機(jī)械泵真空監(jiān)測(GX/HX/GXB 電源配套粗真空監(jiān)控)
真空鍍膜、光學(xué)膜、裝飾膜生產(chǎn)線腔體預(yù)抽壓力監(jiān)控
半導(dǎo)體設(shè)備、真空熱處理、燈管真空產(chǎn)線
冷媒抽注、真空檢漏工位壓力顯示
398-802:標(biāo)準(zhǔn)市電版 PGD500(100-240VAC,國內(nèi)通用款)
無其他細(xì)分型號,整機(jī)標(biāo)配電源線 + 操作手冊。
PGD400:無繼電器設(shè)定點,僅顯示 + 模擬輸出
PGD500(398-802):帶 1 路繼電器聯(lián)鎖,產(chǎn)線自動化shou xuan,鍍膜機(jī)標(biāo)配型號。


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