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Brooks GC 系列超緊湊型質(zhì)量流量控制器（MFC）
GC 系列是Brooks Instrument基于 MEMS 熱式傳感技術(shù)的彈性密封超緊湊型氣體質(zhì)量流量控制器，主打小體積 OEM、臺式實驗室設(shè)備，分為 GC50、GC51 兩個型號。
ji zhi緊湊體積：20?×?40?×?60?mm，大幅節(jié)省氣路面板空間，適合設(shè)備內(nèi)部高密度集成Brooks Ins...。
MEMS 熱式傳感，量程比100:1，單臺覆蓋寬流量區(qū)間，減少器件數(shù)量Cross Comp...。
極低閥門泄漏率，多數(shù)工況無需額外切斷閥；彈性密封（橡膠密封圈），不適用半導(dǎo)體高純 / 腐蝕特氣，面向通用實驗室、生物設(shè)備。
通訊接口：模擬量（0?5V /0?10V /4?20mA） + Modbus?RTU RS?485，數(shù)字 + 模擬雙兼容Brooks Ins...。
現(xiàn)場在機校準(zhǔn)：配套 BCAT 軟件，設(shè)備不用拆下來，可做校驗、調(diào)參、標(biāo)定、故障診斷，降低停機維護時間Brooks Ins...。
表格
| 項目 | GC50 | GC51 |
|---|---|---|
| 滿量程（空氣當(dāng)量） | 210?1500 sccm | 210?5000 sccm |
| 精度 | 1.5% 設(shè)定值 ±0.5% 滿量程 | 同 GC50 |
| 重復(fù)性 | ±0.25% 設(shè)定值 | ±0.25% 設(shè)定值 |
| 量程比（Turndown） | 100:1 | 100:1 |
| 工作壓力上限 | 150 psi（約 10.3?bar） | 150 psi |
| 工作溫度 | 0?50 ℃ | 0?50 ℃ |
| 接觸介質(zhì)密封 | 彈性體密封（Viton） | 彈性體密封 |
| 氣路接頭 | 1/4 卡套、1/4?VCR、6mm 卡套可選 | 1/4 卡套、1/4?VCR、6mm 卡套可選 |
| 供電 | DC 24V | DC 24V |
空氣、N?、O?、Ar、CO?、N?O、CO、CH?、C?H?等非腐蝕性氣體。
臺式生物反應(yīng)器、實驗室發(fā)酵系統(tǒng)
各類分析儀器、醫(yī)療氣體分析設(shè)備
空間受限 OEM 整機設(shè)備、桌面實驗平臺
注意：該系列為彈性密封，非金屬密封，不用于半導(dǎo)體高潔凈、腐蝕性特種氣體工藝。
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